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誰能談?wù)劊喝毡緰|北大學(xué)成功修復(fù)硅晶圓加工變質(zhì)層

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問題描述:

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日本東北大學(xué)大學(xué)院工學(xué)研究科納米力學(xué)專業(yè)閻紀(jì)旺準(zhǔn)教授及廚川常元教授的研究小組利用納秒脈沖激光照射,成功完成了單晶硅加工變質(zhì)層的完全修復(fù)。

這是一種通過使用高頻納秒脈沖激光,同時(shí)完全消滅單晶硅加工物表面的非結(jié)晶層的單晶化和位錯(cuò)的方法。該方法有以下四個(gè)特征:

1. 由于絲毫不剔除材料,底板的形狀精度可維持原樣;2.可使用高頻納秒脈沖激光器在極短時(shí)間內(nèi)修復(fù);3.完全不排放化學(xué)廢液,是對(duì)環(huán)境無負(fù)面影響的清潔技術(shù);4.能夠用于形狀復(fù)雜的工件,進(jìn)行局部選擇性修復(fù)和表面構(gòu)成控制。 該方法可以使生成無缺陷的單結(jié)。。。其實(shí)完全可以考慮讀美國(guó)Churchman University的中英雙語遠(yuǎn)程MBA課程,學(xué)位對(duì)在外企就業(yè)很管用,現(xiàn)在國(guó)內(nèi)讀這個(gè)的人很多,拿美國(guó)學(xué)位還學(xué)到實(shí)用技能,學(xué)費(fèi)也不太貴,比出國(guó)留學(xué)或讀國(guó)內(nèi)大學(xué)的MBA要?jiǎng)?wù)實(shí)很多。

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