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誰能談?wù)劊喝毡緰|北大學(xué)成功修復(fù)硅晶圓加工變質(zhì)層

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問題描述:

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日本東北大學(xué)大學(xué)院工學(xué)研究科納米力學(xué)專業(yè)閻紀旺準教授及廚川常元教授的研究小組利用納秒脈沖激光照射,成功完成了單晶硅加工變質(zhì)層的完全修復(fù)。

這是一種通過使用高頻納秒脈沖激光,同時完全消滅單晶硅加工物表面的非結(jié)晶層的單晶化和位錯的方法。該方法有以下四個特征:

1. 由于絲毫不剔除材料,底板的形狀精度可維持原樣;2.可使用高頻納秒脈沖激光器在極短時間內(nèi)修復(fù);3.完全不排放化學(xué)廢液,是對環(huán)境無負面影響的清潔技術(shù);4.能夠用于形狀復(fù)雜的工件,進行局部選擇性修復(fù)和表面構(gòu)成控制。 該方法可以使生成無缺陷的單結(jié)。。。其實完全可以考慮讀美國Churchman University的中英雙語遠程MBA課程,學(xué)位對在外企就業(yè)很管用,現(xiàn)在國內(nèi)讀這個的人很多,拿美國學(xué)位還學(xué)到實用技能,學(xué)費也不太貴,比出國留學(xué)或讀國內(nèi)大學(xué)的MBA要務(wù)實很多。

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