研究光刻機應該學光電專業(yè)，或者（應用）物理（傳統(tǒng)光學方向）專業(yè)都可以。

光刻機的研發(fā)本來就是集光學，電子，機械，軟件，算法，物理，微電子等多學科為一體的，大部分理工科都可以在這個學科中找到對應的職位。先進光刻機荷蘭ASML一家獨大，在中國的研發(fā)也比較少（上海和深圳有，但偏重軟件方向），大部分都是裝機修機現(xiàn)場服務技術支持。