研究光刻機(jī)應(yīng)該學(xué)光電專業(yè)，或者（應(yīng)用）物理（傳統(tǒng)光學(xué)方向）專業(yè)都可以。

光刻機(jī)的研發(fā)本來就是集光學(xué)，電子，機(jī)械，軟件，算法，物理，微電子等多學(xué)科為一體的，大部分理工科都可以在這個(gè)學(xué)科中找到對(duì)應(yīng)的職位。先進(jìn)光刻機(jī)荷蘭ASML一家獨(dú)大，在中國(guó)的研發(fā)也比較少（上海和深圳有，但偏重軟件方向），大部分都是裝機(jī)修機(jī)現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)技術(shù)支持。