光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。
常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫MaskAlignmentSystem。目前,世界上能制造光刻機的國家有荷蘭、日本、德國和中國。目前能制造高端光刻機的廠家有:荷蘭ASML,日本Nikon,日本Canon,以及上海微電子裝備和德國的歐泰克
哪個國家可以獨立制造光刻機求高手給解答
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。
常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫MaskAlignmentSystem。目前,世界上能制造光刻機的國家有荷蘭、日本、德國和中國。目前能制造高端光刻機的廠家有:荷蘭ASML,日本Nikon,日本Canon,以及上海微電子裝備和德國的歐泰克
第一沒有哪個國家能夠獨立制造光刻機,光刻機代表人類最高的智慧結(jié)晶,光零部件就數(shù)以萬計,而且每一個零部件都是精密器件。
第二制造光刻機需要建立全球供應(yīng)鏈體系,有的國家對精密軸承做的非常到位如瑞典、德國等,有的國家對鏡頭制造高端如日本、德國等……