BAW濾波器是沒有換能器的,SAW濾波器才有。
BAW濾波器基本原理同SAW濾波器相同,不同的是BAW濾波器中聲波垂直傳播。同時(shí)電極的使用與薄膜壓電層的厚度決定濾波器諧振頻率,高頻下薄膜壓電層厚度在幾微米量級(jí),因此需要使用較高難度的薄膜沉積與微機(jī)械加工技術(shù),制造難度與成本更高。BAW濾波器有FBAR類型以及SMR類型,兩者結(jié)構(gòu)略有差別。BAW濾波器可以直接在硅晶圓(6寸為主)加工設(shè)計(jì),利用PVD或CVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)壓電薄膜的制備是其關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),薄膜材料主要為氮化鋁和氧化鋅。