光子芯片的基材通常使用硅(Si)或氮化硅(SiN)。

硅是一種常見的半導(dǎo)體材料，具有良好的光學(xué)和電學(xué)性能，適用于集成光子學(xué)器件。氮化硅是一種具有較高折射率和較低損耗的材料，適用于制造高效的光波導(dǎo)和光調(diào)制器。這些基材具有穩(wěn)定性、可靠性和可制造性，能夠滿足光子芯片的需求，并在光通信、光計算和光傳感等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。