納米技術(shù)主要包括納米物理學(xué)、納米化學(xué)、納米電子學(xué)、納米材料學(xué)、納米生物學(xué)、納米加工學(xué)、納米力學(xué)等。這些學(xué)科共同組成了納米高技術(shù)群體，它們的出現(xiàn)和發(fā)展將帶來一輪新的技術(shù)革命。納米材料是納米科技的基礎(chǔ)，其制備和研究涉及多個領(lǐng)域。納米加工技術(shù)則是納米科技發(fā)展的基礎(chǔ)，也是納米技術(shù)應(yīng)用的關(guān)鍵。此外，納米光刻技術(shù)是制造納米結(jié)構(gòu)器件的主要技術(shù)之一，它已經(jīng)成為21世紀(jì)信息科學(xué)的一項關(guān)鍵技術(shù)。

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