天準(zhǔn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)最早是由英國(guó)發(fā)明的！三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長(zhǎng)度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x或三坐標(biāo)量床。

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x又可定義“一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器”。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x也可定義為"一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，探測(cè)器以接觸或非接觸等方式采集傳送訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng) ( 如光柵尺 ) 經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(X、Y、Z)及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器".三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、幾何精度及輪廓精度，逆向工程等.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的發(fā)展可劃分為三代 ·第一代：世界上第一臺(tái)測(cè)量機(jī)是英國(guó)的FERRANTI公司于20世紀(jì)50年代末研制成功的。

60年代初，意大利FIAT（菲亞特）汽車公司質(zhì)量控制工程師的FraorincoSartorio先生，在意大利都靈市創(chuàng)建了DEA，成為世界上第一家專業(yè)制造坐標(biāo)測(cè)量設(shè)備的商業(yè)公司。同時(shí)期英國(guó)LK TOOL發(fā)明了第一臺(tái)橋式三坐標(biāo)，并在之?dāng)?shù)十年中成為標(biāo)準(zhǔn)三坐標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)架。

70年代初，德國(guó)ZEISS公司使用計(jì)算機(jī)輔助工件坐標(biāo)系代替機(jī)械對(duì)準(zhǔn)，從此測(cè)量機(jī)具備了對(duì)工件基本幾何元素尺寸、形位公差的檢測(cè)功能?！さ诙弘S著計(jì)算機(jī)的飛速發(fā)展，測(cè)量機(jī)技術(shù)進(jìn)入了CNC控制機(jī)時(shí)代，完成了復(fù)雜機(jī)械零件的測(cè)量和空間自由曲線曲面的測(cè)量，測(cè)量模式增加和完善了自學(xué)習(xí)功能，改善了人機(jī)界面，使用專門測(cè)量語(yǔ)言，提高了測(cè)量程序的開發(fā)效率?！さ谌簭?0年代開始，隨著工業(yè)制造行業(yè)向集成化、柔性化和信息化發(fā)展，產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造和檢測(cè)趨向一體化，這就對(duì)作為檢測(cè)設(shè)備的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)提出了更高的要求，從而提出了第三代測(cè)量機(jī)的概念。其特點(diǎn)是：

1、具有與外界設(shè)備通訊的功能；

2、具有與CAD系統(tǒng)直接對(duì)話的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)協(xié)議格式；

3、硬件電路趨于集成化，并以計(jì)算機(jī)擴(kuò)展卡的形式成為計(jì)算機(jī)的大型外部設(shè)備。