SAT(Scanning Acoustic Microscope)即超聲波掃描顯微鏡，是利用超聲波的反射和傳輸特性來檢測材料內(nèi)部的一種無損檢測技術(shù)。它可以在固體或液體材料中自由傳播，在材料界面、內(nèi)部缺陷或材料變化的地方發(fā)生反射，對材料沒有破壞性。SAT有脈沖回波成像和透射成像兩種工作模式。應(yīng)用場景包括電子元件檢測、半導(dǎo)體失效分析、真?zhèn)伪鎰e等。

A掃描模式，波形分析單點(diǎn)反射信號

A掃描模式是對單一檢測點(diǎn)的波形進(jìn)行分析。它發(fā)出超聲脈沖保持在樣品的一點(diǎn)上，從這點(diǎn)上的反射波獲取信息。A掃描是構(gòu)成后續(xù)幾種掃描模式的基礎(chǔ)。

B掃描模式，二維垂直剖面成像

B掃描模式通過在X軸上進(jìn)行機(jī)械掃描，Z軸逐步遞進(jìn)，從不同深度獲取反射波信息，得到樣品的二維垂直剖面圖像。它可以用于判斷樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)、缺陷深度等。

C掃描模式，二維水平剖面成像

C掃描是最常用的模式。它在一個(gè)聚焦深度上，通過X軸機(jī)械掃描，Y軸逐步遞進(jìn)，得到樣品的二維水平剖面圖像?？汕逦@示內(nèi)部界面異常、裂紋、空洞等。

T掃描模式，利用透射波進(jìn)行成像

T掃描是透射掃描方式。發(fā)射的超聲脈沖從樣品一側(cè)傳輸進(jìn)入，通過樣品后在另一側(cè)接收。它可以一次掃描樣品所有界面，對比C掃描結(jié)果驗(yàn)證。

SAT作為一種無損檢測技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部的高分辨成像。它在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中的檢測與分析應(yīng)用廣泛，可用于質(zhì)量控制、失效分析、真?zhèn)伪鎰e等領(lǐng)域，檢測出材料內(nèi)部的結(jié)構(gòu)與缺陷，important role.

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