SAT設(shè)備是什么 - 超聲波無損檢測成像儀器
SAT全稱Scanning Acoustic Microscope,即掃描聲學顯微鏡。...
SAT全稱Scanning Acoustic Microscope,即掃描聲學顯微鏡。它是一種利用高頻超聲波作為信號傳播媒介,實現(xiàn)材料內(nèi)部無損檢測成像的專用設(shè)備。SAT可用于半導體電子、航空航天、新能源等多個行業(yè),檢測晶圓、封裝器件、金屬基板等樣品的界面異常、分層、裂紋、夾雜物等內(nèi)部缺陷,精度達到微米級。
SAT的檢測原理是基于超聲波在不同介質(zhì)之間的反射與傳播規(guī)律。當超聲波信號傳播至樣品內(nèi)部兩種不同材質(zhì)之間的界面時,會發(fā)生一定程度的反射和一定程度的穿透。SAT正是通過分析接收到的反射波和穿透波的信號變化,來判斷材料內(nèi)部是否存在界面異常、裂紋、空洞等缺陷,并可以將信號變化成像,直觀地展示出材料內(nèi)部的圖像。
SAT設(shè)備最常見的掃描模式有A模式、B模式、C模式掃描。A模式掃描是對單一點的波形分析;B模式掃描可以得到樣品剖面圖像;C模式掃描可以得到樣品平面圖像。這些掃描模式各有優(yōu)勢,能夠全面檢測樣品的內(nèi)部質(zhì)量。除此之外,SAT設(shè)備還有透射掃描、分焦距掃描等模式,可以實現(xiàn)不同檢測需要。
SAT與X光機都是重要的無損檢測設(shè)備,兩者互為補充。X光機基于材料密度差異成像,對界面不敏感;而SAT可以輕易檢測到樣品內(nèi)部的分層等界面異常。另外,X光機整體透射樣品,可能損壞半導體器件;SAT使用安全的高頻超聲波,不會損壞被檢測器件。所以,SAT與X光機常被同時使用,以發(fā)揮各自優(yōu)勢,得到更全面準確的檢測結(jié)果。
SAT設(shè)備應(yīng)用極為廣泛,可用于半導體電子行業(yè)、新能源、航天航空、材料科學等多個領(lǐng)域,檢測晶圓、IC封裝、電池、金屬材料、復(fù)合材料等樣品,發(fā)現(xiàn)界面異常、裂紋、空洞等各類內(nèi)部缺陷。隨著科技的發(fā)展,SAT的檢測能力也在不斷提高,分辨率達到了微米甚至納米級,使其在半導體芯片檢測等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。
SAT是一種利用超聲波進行無損內(nèi)部成像檢測的專用設(shè)備。它可輕易發(fā)現(xiàn)樣品內(nèi)部各類缺陷,應(yīng)用范圍極廣,與X光機互為補充。隨著科技進步,SAT機的性能也在不斷提升。
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